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台积电将包揽ASML今年的30台EUV光刻机中的18台
时间:2019-02-13 来源:未知 点击:233

北京时间2019-02-13消息,中国触摸屏网讯,传台积电今年将购入18台EUV光刻机。台积电将包揽ASML今年的30台EUV光刻机中的18台,加上之前采购的几台,台积电有望在今年3月份启动7nm EUV的量产,推动7nm在其2019年晶圆销售中的占比从去年的9%提升到25%。

目前,ASML现款EUV光刻机Twinscan NXE: 3400B报价约1.2亿美元(约合8亿人民币),也就是说台积电订购的这18台EUV光刻机总价接近150亿元。

此外,台积电还计划在今年第二季度启动5nm工艺的风险试产,值得注意的是,5nm必须采用EUV工艺才能够实现。

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